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產(chǎn)品中心

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IKS-OPT2700電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機(jī)

1. 產(chǎn)品設(shè)計，由完美愛科斯技術(shù)與產(chǎn)品性能的無縫對接整合，創(chuàng)造可靠、穩(wěn) 定、安全、智能化鍍膜系統(tǒng)!
2. 真空獲得，重新優(yōu)化設(shè)計的真空獲得系統(tǒng)，滿足快捷平穩(wěn)真空環(huán)境!
3. 蒸發(fā)源和離子源，合理的布局和高品質(zhì)的加工技術(shù)，調(diào)試技術(shù)，實(shí)現(xiàn)工藝 進(jìn)程自動調(diào)節(jié)，電子束創(chuàng)新結(jié)構(gòu)與精確速率保障材料沉積更精確、穩(wěn)定!
4.自動運(yùn)行控制系統(tǒng)，全新開發(fā)精確穩(wěn)定系統(tǒng)!設(shè)置簡單，操作簡便!
產(chǎn)品詳情

  • 　設(shè)備用途：大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學(xué)膜和防指紋膜。

    　　愛科斯的IKS-OPT2700蒸發(fā)鍍膜機(jī)為實(shí)現(xiàn)大量快速生產(chǎn)大面積光學(xué)膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設(shè)計，本機(jī)為立式單腔體鍍膜機(jī)，是一種基于電子槍蒸發(fā)的多層光學(xué)薄膜鍍膜系統(tǒng)。本設(shè)備的主要產(chǎn)品蒸發(fā)沉積多層光學(xué)介質(zhì)膜和防指紋膜等，例如，可見光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點(diǎn)有機(jī)物膜、可見光分光膜、可見光抗反射膜等，也可以為特定的簡單光學(xué)特性膜系進(jìn)行調(diào)試生產(chǎn)。

    　　設(shè)備特點(diǎn)

    　　1. 產(chǎn)品設(shè)計，由完美愛科斯技術(shù)與產(chǎn)品性能的無縫對接整合，創(chuàng)造可靠、穩(wěn) 定、安全、智能化鍍膜系統(tǒng)!

    　　2. 真空獲得，重新優(yōu)化設(shè)計的真空獲得系統(tǒng)，滿足快捷平穩(wěn)真空環(huán)境!

    　　3. 蒸發(fā)源和離子源，合理的布局和高品質(zhì)的加工技術(shù)，調(diào)試技術(shù)，實(shí)現(xiàn)工藝 進(jìn)程自動調(diào)節(jié)，電子束創(chuàng)新結(jié)構(gòu)與精確速率保障材料沉積更精確、穩(wěn)定!

    　　4.自動運(yùn)行控制系統(tǒng)，全新開發(fā)精確穩(wěn)定系統(tǒng)!設(shè)置簡單，操作簡便!

    　　設(shè)備簡述

    　　IKS-OPT2700是專為大面積光學(xué)薄膜鍍膜而設(shè)計的電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)。鍍膜機(jī)系統(tǒng)由真空室、真空泵、真空檢測與控制、襯底加熱系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、離子源輔助沉積系統(tǒng)、電阻蒸發(fā)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)測系統(tǒng)、工作氣體體積流量控制系統(tǒng)、工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、PLC控制的自動鍍膜等組成。

    　　蒸發(fā)材料常用稀有金屬，如氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦、二氧化硅、氧化鋯、鈷、鎵、硒等金屬。銅、鉬、硅、鍺等金屬是反射器光學(xué)材料中常用的材料。

    　　可涂裝可見光彩色膜、鋁反射膜、AF指紋膜、低熔點(diǎn)有機(jī)膜、可見光分光膜、可見光防反射膜等

    　　設(shè)備參數(shù)

    爐體尺寸

    Ф2700×H1670

    工件架

    φ2650*H420mm

    真空度

    極限真空:6×10-4Pa(24小時空載，不加熱)

    重量

    8000kg,地板承重﹥1000kg/m2

    漏率

    ＜4×10-3Pa×L/S(氦撿漏)

    溫度

    室溫-250℃，溫度均勻性±5%

    工作真空

    6*10-3Pa（自動工藝啟動）

    供電

    三相電, 380V，50Hz，60-100KW

    低真空

    10 分鐘＜10Pa

    水冷

    腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機(jī)流量大于1600l/h

    高真空

    6 分鐘＜8×10-3Pa

    溫水

    蒸發(fā)源1800l/h，35-60℃

    真空測量

    全程監(jiān)控，實(shí)時取點(diǎn)

    占地

    L6×w5.5×H3.5m

    應(yīng)用

    眼鏡、反光鏡、手機(jī)背板、防護(hù)罩、光通訊、光學(xué)顯示等

     

    　　應(yīng)用



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