
設(shè)備簡述/Equipment Brief
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				 安裝尺寸  | 
			
				 W4200×L8000×H4600mm  | 
			
				 腔體尺寸  | 
			
				 W1300×L1300×H1500mm  | 
		
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				 裝載  | 
			
				 10 軸自轉(zhuǎn)Ф150×H890mm  | 
			
				 多弧源  | 
			
				 6×Ф100 弧源, 1號腔體  | 
		
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				 濺射  | 
			
				 8×Ф70圓柱陰極  | 
			
				 真空范圍  | 
			
				 ATM-6X10-4 Pa  | 
		
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				 離子清洗  | 
			
				 偏壓清潔,腔體1 
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				 真空隔離  | 
			
				 插板閥 ,W720×H1100  | 
		
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				 鍍膜節(jié)拍  | 
			
				 30-60分/批次  | 
			
				 電源  | 
			
				 380V 50Hz  |