
設(shè)備簡述
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				 腔體 
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				 4pcs 
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				 進(jìn)/出架室 
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				 L2600×W300×H2200mm  | 
			
				 1.72m3  | 
		
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				 進(jìn)/出架儲氣罐室 
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				 Φ500×H1600mm  | 
			
				 2.51m3  | 
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				 占地 
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				 30m×10m  | 
			
				 進(jìn)/出架傳輸室 
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				 L2500×W200×H2000mm  | 
			
				 1.00m3  | 
		
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				 鍍膜室主真空室  | 
			
				 L1300×W250×H2200mm  | 
			
				 0.72m3  | 
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				 玻璃架鍍膜窗口尺寸  | 
			
				 L2300×H1600  | 
			
				 進(jìn)/出玻璃架節(jié)拍 
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				 5 mins  | 
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				 應(yīng)用技術(shù) 
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				 磁控濺射 
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				 電源 
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				 直流電源40KW,中頻電源40kw 
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				 磁控靶 
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				 14pcs  | 
			
				 ITO平面靶4支,Al圓柱靶8支, Cu圓柱靶1支, SS圓柱靶1支 
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				 應(yīng)用 
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				 液晶顯示器(LCD)、太陽能電池、微電子ITO導(dǎo)電膜玻璃、光電子和各種光學(xué)領(lǐng)域玻璃連續(xù)鍍膜  | 
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